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高溫真空固化爐

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2024-07-02 10:37:22瀏覽次數:60次

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經營模式:其他

商鋪產品:59條

所在地區:江蘇蘇州市

產品簡介

詳細介紹




本產品適用于半導體晶圓,硅片制造過程中對聚酰亞胺PSPI一種新型工程高分子材料固化的專用設備,烘箱的溫度可達450℃

性能特點:
真空度可達10pa
箱體內的氧含量:《20ppm,提供氧含量的檢測接口
日本優易控制觸摸屏,升溫斜率控制.
內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作。


型號

工作室尺寸

加熱功率

電源電壓

溫度范圍

溫度波動度

氧含量

真空度

H*W*Dmm)

KW

V

ppm

pa

YLPI-1

200*200*400

9

380

常溫~550

±1

20

10

YLPI-2

300*300*600

12

380

常溫~550

±1

20

10










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