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合肥新元素科技裝備有限公司
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1200℃智能控溫高溫管式爐真空爐CVD系統 1200℃可傾斜式旋轉管式爐，采用雙層風冷結構，爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型；搭配兩路混氣質子流量控制系統。是專為高校、科研院所的實驗室及工礦企業在可控多種氣氛及真空狀態下對金屬、非金屬及其它化合物進行燒結、熔化、分析而研制的設備。
●電源：220V 50/60HZ
●額定功率：2.5KW
●工作溫度：1200℃（＜0.5 hour）
●連續工作溫度：1100 ℃以下
● 推薦升溫速率：≤20℃/min
●加熱區長度：440mm；恒溫區：220mm（誤差±1℃）
● 石英攪拌管：爐管尺寸：兩端管徑φ60*420mm，中間管徑φ100*340mm，總長1200mm
●管內壓力≤0.016Mpa；進氣口有旋轉接頭，可通入氣體；
爐體結構：
●采用雙層殼體結構并帶有風冷系統；
●爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；
●爐膛安裝好后，內部也會重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設備的加熱效率同時也延長了儀器的使用壽命；
●爐體加旋轉裝置，可實現傾斜旋轉工作；傾斜角度0-40度可調，建議傾斜角度小于30.
0-10rpm轉速可調，選配：正反轉可調
● 標配：一對不銹鋼密真空法蘭（配旋轉接頭）和高溫硅膠密封圈；
●可選配：不銹鋼密封真空法蘭（進氣配機械壓力表，壓力表量程-0.1Mpa-0.15Mpa，雙卡套接頭，截止閥）；出氣端配密封磁流體法蘭（截止閥，寶塔嘴接頭，KF25端口）
●為了得到較好的真空狀態出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉接頭與波紋管相連接；
精密針型閥可調節進氣和出氣量，可通入氮氣、氬氣等保護氣體；
● 供氣系統，2路質子流量計（氮氣、氬氣）；
● 7寸觸屏昆侖通態；精密工控板控制；
●工作溫度5—45℃
●壓力：3*10-6Pa
●精度：±1.5%FS；重復精度：±0.2%FS
● 可選配：流量范圍：1-500sccm，1-100SCCM,1-200SCCM; 氣路接口為φ6.35mm卡套接口；需配G1/4的四氟軟管或不銹鋼通管。
氣路管道采用四氟軟管，和不銹鋼氣管，帶有混氣罐，通入氣體單進單出，也可混氣后進入爐管，
1200℃智能控溫高溫管式爐真空爐CVD系統 1200℃可傾斜式旋轉管式爐，采用雙層風冷結構，爐膛采用高純度氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型；搭配兩路混氣質子流量控制系統。1200℃智能控溫高溫管式爐真空爐CVD系統 是專為高校、科研院所的實驗室及工礦企業在可控多種氣氛及真空狀態下對金屬、非金屬及其它化合物進行燒結、熔化、分析而研制的設備。
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