小型離子濺射儀噴金厚度KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

詳細介紹

小型離子濺射儀噴金厚度KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。

小型離子濺射儀噴金厚度通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

技術參數

設備名稱	小型濺射儀	小型蒸鍍儀
控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制	7寸人機界面手動自動模式切換控制
工作電源	直流濺射電源	直流熱蒸發電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W	≤1500W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A	電壓≤12V 電流≤100A
真空	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
腔體真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm	石英腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品濺射源調節距離	40-105mm	70-140mm
蒸發坩堝容積		3ML
蒸發溫度調節		≤1600℃
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	1 膜厚在線測試 2 分子泵

公司簡介：

鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料設備創新型企業，如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室及校，科探儀器已經成為老師同學和信任的品牌。公司以科技創新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術10余項，為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！

目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統小型離子濺射儀等離子清洗機小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口半導體等。主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

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