桌面式高溫蒸鍍儀

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更新時間：2025-01-07 16:40:43瀏覽次數：18次

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鄭州科探儀器設備有限公司

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產品簡介

桌面式高溫蒸鍍儀，1800度高溫，觸摸屏控制，電動自動擋板保護樣品，工藝儲存操作簡單

詳細介紹

桌面式高溫蒸鍍儀

小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發容器中待蒸發材料的方法，以使原子或分子蒸發并從表面逸出以形成蒸氣流，進入基材或基材表面，然后凝結成固體膜。

　　小型蒸鍍儀包括以下基本過程：

　　（1）加熱蒸發過程：包括從冷凝相變為氣相的過程，并且每種蒸發物質在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。

　?。?）氣態原子或分子在蒸發源和基質之間的傳輸，即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程。

　?。?）蒸發的原子或分子在基板表面上的沉積過程。即，蒸發，冷凝，成核，成核生長，形成連續的膜。由于基材的溫度遠低于蒸發源的溫度，因此氣態分子將直接經歷從基材表面上的氣態到固態的相變過程。

特點
● 全自動抽氣系統
● 旋轉樣品臺
● 菜單驅動式“用戶"鍵盤輸入
● 快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制

以下是不同真空度不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

原樣品沒有鍍膜 115A 100秒機械泵

115A 100秒分子泵抽12分鐘 115A 120秒分子泵抽20分鐘

真空度越高越不易氧化越接近金屬本色

桌面式高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
加熱方式	數字式功率調整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺	可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品蒸發源調節距離	70-140mm
蒸發溫度調節	≤1800℃
支持蒸發坩堝類型	鎢絲藍帶坩堝鎢絲藍鎢舟碳繩
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
可選配擴展	機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）