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桌面式高溫蒸鍍儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時(shí)間：2025-01-07 16:40:43瀏覽次數(shù)：17次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

桌面式高溫蒸鍍儀，1800度高溫，觸摸屏控制，電動(dòng)自動(dòng)擋板保護(hù)樣品，工藝儲(chǔ)存操作簡(jiǎn)單

詳細(xì)介紹

桌面式高溫蒸鍍儀

小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發(fā)容器中待蒸發(fā)材料的方法，以使原子或分子蒸發(fā)并從表面逸出以形成蒸氣流，進(jìn)入基材或基材表面，然后凝結(jié)成固體膜。

　　小型蒸鍍儀包括以下基本過(guò)程：
　?。?）加熱蒸發(fā)過(guò)程：包括從冷凝相變?yōu)闅庀嗟倪^(guò)程，并且每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。
　　（2）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源和基質(zhì)之間的傳輸，即原子或分子在周?chē)髿庵械娘w行過(guò)程。
　　（3）蒸發(fā)的原子或分子在基板表面上的沉積過(guò)程。即，蒸發(fā)，冷凝，成核，成核生長(zhǎng)，形成連續(xù)的膜。由于基材的溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源的溫度，因此氣態(tài)分子將直接經(jīng)歷從基材表面上的氣態(tài)到固態(tài)的相變過(guò)程。


特點(diǎn)
● 全自動(dòng)抽氣系統(tǒng)
● 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
● 菜單驅(qū)動(dòng)式“用戶"鍵盤(pán)輸入
● 快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制


以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒(méi)有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機(jī)械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


桌面式高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1200W

輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺(tái)

可旋轉(zhuǎn)φ62  （可安裝φ50基底）

樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1800℃

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）  

數(shù)顯真空計(jì)（測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa）

分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）





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