大功率桌面濺射儀

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產品簡介

大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，功率1000w，配有水冷機接口，可長時間運行

詳細介紹

大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，功率1000w，配有水冷機接口，可長時間運行。該產品為臺式磁控濺射鍍膜機，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。

主要特點：

輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作

小型離子濺射儀信息由南京舜儀實驗設備有限公司為您提供，如您想了解更多關于小型離子濺射儀報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

大功率桌面濺射儀技術參數；

控制方式	7寸人機界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉速	8轉/分鐘
樣品濺射源調節距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口