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鄭州科探儀器設備有限公司


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單靶磁控濺射儀

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所  在  地鄭州市

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更新時間:2025-01-07 16:21:48瀏覽次數:23次

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產品簡介

此款單靶磁控濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜(金膜),儀器操作簡單方便,設備配有微量充氣閥調節工作真空,在 20Pa 真空保護。同時,配有進氣口和微量充氣調節裝置,以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。

詳細介紹

       KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

   此款單靶磁控濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜(金膜),儀器操作簡單方便,設備配有微量充氣閥調節工作真空,在 20Pa 真空保護。同時,配有進氣口和微量充氣調節裝置,以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。


單靶磁控濺射儀  主要特點:

  • 可制備多種薄膜,應用廣泛

  • 體積小,操作簡便

  • 真空腔室、真空泵組整機模塊化設計 ,控制電源為分體式設計,可根據用戶實際需要調整購買需求。

  • 可根據用戶實際需要選擇電源,可以一個電源控制多個靶槍,也可多個電源單一控制靶槍

磁控濺射頭:

  • 儀器中安裝有3個磁控濺射頭,而且都帶有水冷夾層

  • 其中一個濺射頭與射頻電源相連接,主要是濺射絕緣性靶材

  • 另一個濺射頭與直流電源相連接,主要濺射導電性靶材

  • 可以單獨訂購RF連接線作為備用

  • 設備包含一臺水冷機,用于靶頭冷卻

載樣臺:

  • 載樣臺可以旋轉

  • 載樣臺高可加熱溫度

真空腔體:

  • 真空腔體:采用不銹鋼制作

  • 觀察窗口:

  • 腔體打開方式采用上頂開,使得換靶更加容易


薄膜測厚:

  • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝 在儀器上,可實時監測薄膜的厚度,分辨率為0.10 ?

  • LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關數據


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