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杭州恒水過濾器材有限公司
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光刻膠過濾 光刻的原理是在硅片表面覆蓋一層具有高度光敏感性光刻膠，再用光線（一般是紫外光、深紫外光、極紫外光）透過掩模照射在硅片表面，被光線照射到的光刻膠會發生反應。此后用特定溶劑洗去被照射/未被照射的光刻膠， 就實現了電路圖從掩模到硅片的轉移。光刻工藝對極小污染物的控制苛刻到，同時嚴控過濾產品的金屬離子析出。耐腐蝕全氟濾芯采用進口PTFE膜，進口PTFE支撐層，全氟骨架經過特殊結構設計而制成適用于光刻膠的終端過濾。 主要特點 天然疏水性、耐腐蝕廣泛的化學相容性孔徑確保有效過濾每支濾芯通過完整性檢測 應用領域： 光刻工藝
| 材料結構 | 操作條件 | 過濾精度(um) | |||
| 濾材: 疏水聚四氟乙烯膜 內芯: 聚丙烯 外罩: 聚丙烯 端蓋: 聚丙烯 墊片/O型圈: 硅橡膠、三元乙丙、氟橡膠、包四氟 密封技術: 熱熔焊接 | 工作溫度：≤80℃ 可耐壓差：4 bar (21℃)／2.4bar (80℃) 滅菌方法：121℃/30min蒸汽滅菌 | 0.05、0.10、0.22、0.45、0.65、0.80、1.20 有效過濾面積 ≥0.65 m2/10〞 | |||
| 生物安全性 | 濾芯尺寸 | 完整性測試 | |||
| 內毒素：≤0.25EU/ml 溶出物：≤30mg/10〞 | 外徑: 68mm 長度: 5〞、10 〞、20 〞、30〞、40〞 | 起泡點測試（60%IPA）） 0.10um≥4.0bar 0.22um≥3.4bar 0.45um≥2.3bar | |||
| 應用領域 | | | |||
| 電子行業：電子級各類酸、堿、有機試劑過濾。 制藥行業：熔媒除菌過濾、腐蝕性、強氧化性液體、有機試劑等過濾。 | |||||
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