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東莞市中特精密儀器科技有限公司
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?SemiPOL能夠對各種材料(光學鏡片、半導體晶片、金屬非金屬晶相)進行精確的研磨拋光，從而進行顯微鏡(SEM、FIB、TEM等)分析。
SemiPOL 高精密定量研磨機
SemiPOL能夠對各種材料(光學鏡片、半導體晶片、金屬非金屬晶相)進行精確的研磨拋光，從而進行顯微鏡(SEM、FIB、TEM等)分析。目標精度微米級。主要作平行研磨拋光，結合更多附件，使復雜異形件及面的研磨拋光更容易。 實時監控材料去除量，或量化設定材料磨屑量并實現無人值守操作。雙步進電機驅動，分別控制研磨座擺動速度和幅度提高研磨件平面度、光整度及研磨耗材利用率。
產品特點
（1）研磨盤尺寸：8英寸(Φ203mm)；
（2）研磨盤轉速：0–600rpm，可正轉/反轉；
（3）液晶屏實時顯示材料去除量，分辨率1um，穩定精度10um；
（4）可設定材料磨削量，分辨率1um，穩定精度10um，磨屑量到達設定值，設備自動停止運行；
（5）可設定研磨時間，研磨時間到達設定值，設備自動停止運行；
（6）7英寸液晶顯示/觸摸屏，可保存/編輯至少20組參數；
（7）樣品可自轉，可不轉，可往復擺動，擺動幅度可調；
（8）自動/手動控制冷卻水通斷；
（9）主軸電機功率750W，采用伺服電機，大扭矩、恒扭矩輸出；樣品擺動采用步進電機，扭矩更大更耐用；
技術參數
型號 | SemiPOL | |
工作盤 | 直徑 | 8英寸 |
轉速 | 0-600rpm，無極調速 | |
轉向 | CW/CCW | |
功率 | 750W | |
出廠校驗 | 平面度<2um | |
樣品夾持頭 | 轉速 | 0-50rpm，無極調速 |
轉向 | CW/CCW | |
半幅旋轉 | 有，幅度可調 | |
擺動 | 有，幅度、快慢可調 | |
出廠校驗 | 與盤垂直度<2um;與平行度<2um | |
去除量 | 20mm | |
電氣 | 電源 | 220VAC |
面板 | 7英寸觸摸屏 | |
尺寸 | WxDxH | 700x430x580mm |
重量 | 57kg | |
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