一、概述
微電子產(chǎn)品用超純水設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
二、微電子產(chǎn)品用超純水設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2、超純材料和超純化學試劑;
3、實驗室和中試車間;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
三、微電子用超純水設(shè)備技術(shù)要求
1、采用全自動控制(同時亦可采用手動控制),系統(tǒng)運行時可設(shè)定自動反洗、再生程序。
2、一級反滲透和二級反滲透設(shè)有回流管道,設(shè)備設(shè)有化學清洗裝置和消毒裝置反滲透膜采用美國進口反滲透膜,以保證設(shè)備能長期穩(wěn)定運行。
3、反滲透管路采用不銹鋼和UPVC等優(yōu)質(zhì)材料。
4、在一級反滲透和第二級反滲透設(shè)備中均裝有在線電導(dǎo)檢測儀。
5、反滲透系統(tǒng)設(shè)有低壓保護和高壓保護開關(guān)。
6、反滲透水回收率可調(diào),一級反滲透回收率60-70%,二級反滲透回收率70-80%。
7、循環(huán)輸送管道裝有紫外線殺菌器和微孔過濾器,保證水符合衛(wèi)生要求。
四、微電子用超純水設(shè)備性能
1、主要零部件均采用世界產(chǎn)品,經(jīng)CAD設(shè)計,技術(shù),性能可靠、產(chǎn)水性能優(yōu)良。
2、前置預(yù)處理保護裝置,確保高壓泵及反滲透膜不受硬物損壞。
3、脫鹽率高,運行壓力低的卷式復(fù)合膜提高了系統(tǒng)效率,并除低了運行成本。
4、產(chǎn)品濃縮水各設(shè)有流量計,以監(jiān)視并調(diào)節(jié)運行出水量及系統(tǒng)回收率。
5、在線電導(dǎo)儀表連續(xù)監(jiān)測產(chǎn)品水質(zhì),帶有設(shè)定值和報警。
6、進水及排水系統(tǒng)壓力表監(jiān)測反滲透壓差,提示清洗時間,全面的系統(tǒng)監(jiān)視,自動的儀表顯示。
7、靈敏的高壓、低壓開關(guān),防止在異常狀況下對設(shè)備的損壞,確保系統(tǒng)的正常運轉(zhuǎn)。
8、的膜保護系統(tǒng)定時沖洗膜表面,降低污染速度,延長膜使用壽命。
9、微電子用超純水設(shè)備脫鹽率95%以上,單支膜脫鹽率超過99%,操作經(jīng)濟。具有標準性根據(jù)用戶要求,進行設(shè)計。