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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計

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產品簡介

INFICONBPG402-SB-A型皮拉尼真空計INFICONB-A型皮拉尼復合真空計,BPG402-S,將兩種真空計集成在一個簡單小型的單元內,測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓(3.8X10-10乇至大氣壓)

詳細介紹

INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計


     INFICON B-A型皮拉尼復合真空計,BPG402-S,將兩種真空計集成在一個簡單小型的單元內,測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓(3.8X10-10乇至大氣壓)。復合技術降低了安裝,設置和集成的復雜性。選擇一個經濟型規管內的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲,用于普及和可再現過程中的基本壓強測量。當更換傳感器時,帶有在機校準數據的傳感元件保證高度的重復性。

 

*性:

1、  極寬的測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓(3.8X10-10乇至大氣壓)

2、  的重復性,過程壓強范圍從10-8…10-2毫巴均為5%

3、  皮拉尼聯鎖保護B-A型系統,防止燈絲過早燒毀和高壓強運行產生污染

4、  兩根敷涂銥的氧化釔長壽燈絲

5、  可選圖形顯示和Fieldbus接口

6、  自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預

7、  易于更換傳感元件,帶有在機校準數據保證高度的重復性

8、  符合RoHS

 

用途:

1、  半導體工藝過程和傳輸室中的壓強測量

2、  工業鍍膜

3、  從低至超高真空范圍的一般真空測量和控制



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