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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計

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產(chǎn)品簡介

INFICONBPG402-SB-A型皮拉尼真空計INFICONB-A型皮拉尼復(fù)合真空計，BPG402-S，將兩種真空計集成在一個簡單小型的單元內(nèi)，測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）

詳細(xì)介紹

INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計


     INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計，BPG402-S，將兩種真空計集成在一個簡單小型的單元內(nèi)，測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）。復(fù)合技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇一個經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲，用于普及和可再現(xiàn)過程中的基本壓強(qiáng)測量。當(dāng)更換傳感器時，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感元件保證高度的重復(fù)性。

 

*性：

1、  極寬的測量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）

2、  的重復(fù)性，過程壓強(qiáng)范圍從10-8…10-2毫巴均為5%

3、  皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)B-A型系統(tǒng)，防止燈絲過早燒毀和高壓強(qiáng)運行產(chǎn)生污染

4、  兩根敷涂銥的氧化釔長壽燈絲

5、  可選圖形顯示和Fieldbus接口

6、  自動高真空皮拉尼調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

7、  易于更換傳感元件，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高度的重復(fù)性

8、  符合RoHS

 

用途：

1、  半導(dǎo)體工藝過程和傳輸室中的壓強(qiáng)測量

2、  工業(yè)鍍膜

3、  從低至超高真空范圍的一般真空測量和控制



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