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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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INFICONVGC401，VGC402，VGC403真空計控制器與全部INFICON現有的真空計兼容，VGC400系列控制器可監測從10-10至1500毫巴（10-10至1125托）整個壓強范圍和設點狀態
INFICON VGC401，VGC402，VGC403真空計控制器
與全部INFICON現有的真空計兼容，VGC400系列控制器可監測從10-10至1500毫巴（10-10至1125托）整個壓強范圍和設點狀態。
優勢：
1、自動識別連接的INFICON真空計。
2、用戶可選的測量單位（毫巴，托，帕，微米汞柱）。
3、高分辨率-16位A/D變換器。
4、多至6個可調節的設點與可調節的滯后，可分配給任何通道。
5、承諾和標準：CE，ETL，RoHS。
6、可編程的0至10伏圖形記錄儀，對每臺真空計或復合真空計均有對數/線性輸出（僅VGC102/403）。
7、提供固件的在線更新，可通過RS232接口容易下載。
8、通用的小型桌上式模式結構可容易地安裝在面板或19’’機架上。
9、寬范圍電源90至250伏50至60Hz
用途：
1、氧化，擴散和LPCVD過程。
2、其它要求無金屬的真空測量。
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