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KTL-CVD-1400單溫區CVD系統

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產品型號KTL-CVD-1400

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更新時間：2023-07-05 15:22:09瀏覽次數：77次

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產品簡介

產品摘要: KTL-CVD-1400單溫區CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

詳細介紹

產品描述

KTL-CVD-1400單溫區CVD系統詳細介紹：

CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KTL-CVD-1400單溫區CVD系統系統是由3路供氣系統+KTL1400管式爐+真空系統組成

1、加熱元件

（1）、硅碳棒的熱端粗度d為14mm、一般廠家采用的12MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低，使用壽命長。

（2）、m冷端長度為210mm，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護碳棒。

2、安裝有空氣開關和漏電保護器：

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

KTL-CVD-1400單溫區CVD系統技術參數：

型號	功率KW	爐管尺寸mm	外形尺寸mm	電源電壓
KTL-CVD-1400-60	5KW	φ60*1000	610490800	220V/380V
KTL-CVD-1400-80	5KW	φ80*1000	610550850	220V/380V
KTL-CVD-1400-100	6KW	φ100*1000	610550850	220V/380V