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OTL-CVD-1200-S CVD系統

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產品型號OTL-CVD-1200-S

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更新時間：2023-07-05 15:16:55瀏覽次數：60次

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產品簡介

產品摘要: OTL-CVD-1200-SCVD系統以進口電阻絲瑞典（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表，能進行40段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

詳細介紹

產品描述

OTL-CVD-1200-SCVD系統詳細介紹：

CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

OTL-CVD-1200-SCVD系統是由3路供氣系統+OTL1200-S管式爐+真空系統組成

OTL-CVD-1200-SCVD系統以進口電阻絲瑞典（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表，能進行40段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲