YAMATO等離子清洗機PR500

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更新時間：2025-04-18 11:04:41瀏覽次數：12次

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浚和（上海）儀器科技有限公司

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產品簡介

低溫等離子·經典桶型

詳細介紹

低溫等離子·經典桶型。

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
內槽
硅晶圓灰化狀態
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應

用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計

規格：

型號	PR500	PR510
等離子模式	DP模式，桶形
高頻輸出功率	Max500W
頻率	13.56MHz
同調方式	自動協調
反應腔	石英Φ215×305mm
反應氣體	2系統（O₂／CF₄）
控制	手動	觸模屏自動控制
配管材質	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸	W438 x D520 x H760mm	參照規格書
重量	約60kg	參照規格書
電源	單相AC100V 9A	三相AC200V 8A