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浚和（上海）儀器科技有限公司
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更新時間：2025-04-18 11:03:07瀏覽次數(shù)：11次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工機械設備網高頻等離子表面處理裝置■操作性·功能●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗機，可對應更多復雜工藝.●標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確
高頻等離子表面處理裝置 型號 V1000 方式 DP&RIE雙模標準裝備 性能 發(fā)生器功率： 0-1000W 發(fā)生器頻率： 射頻RF13.56Mhz 發(fā)生器匹配方式： 自動匹配（Auto matching) 構成 腔體材質： 鋁制腔體 腔體內尺寸： 400×400×384mm 約61.4L 電極尺寸： 300mm×300mm 反應氣體： 雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體 填充氣體： 一路氮氣 控制方式： 全自動控制，5.7寸液晶觸摸屏 真空度顯示： 測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內真空度 配管材質： SUS不銹鋼以及特氟龍 門： 鉸鏈門 涂裝顏色： 標準色，白系 外形尺寸： W700×D800×H1600mm （高度含警報燈） 真空泵： 無油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 電源規(guī)格： 3phase AC200V 50/60Hz 8A 重量： 約215kg 附屬品 真空管件一套、真空轉接接頭一套
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗機，可對應更多復雜工藝.
● 標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調取數(shù)據(jù)簡單。
■ 安全性·保護
● 標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
● 發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調低頻率來保護發(fā)生器。
● 門鎖開關：門在未關閉時無法啟動電源。
● 側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
● 當裝置發(fā)生異常時，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警
■ 產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產品定制服務。
■ 技術規(guī)格
■ 產品圖紙
■ 設備安裝圖
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