YAMATO等離子灰化機PR200

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浚和（上海）儀器科技有限公司

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產品簡介

從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機

詳細介紹

從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

用途：
? 高分子材料表面的官能基附與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應，在表面生產-OH，>C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）。
同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH2等官能基。
? 晶硅圓蝕刻。
? 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
? 石棉預處理（膜過濾灰化）。
? 從電子設備到生化市場。
? 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
? 表面有機物去除。

特點：
? RF為200W的高性能輸出類型（PR200）。
? 由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。
? 同步，自動調諧，操作簡單（PR200）。
? 等離子體反應器（灰化設備）（PR200）。
? 同步，自動調諧（PR200）。

產品優勢：
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。

規格：

型號		PR200	PR301
方式		DP模式、圓柱形腔體
性能	發生器功率：	0-200W	0-300W
	發生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發生器匹配方式：	自動匹配（Auto matching)	手動匹配（manul）
構成	腔體材質：	高硼硅玻璃
	腔體內尺寸：	φ100×L160mm		φ118×L160mm
	反應氣體：	一路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。
	控制方式：	半自動控制
	真空度顯示：	數字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內真空度。			模擬式壓力表
	配管材質：	SUS不銹鋼以及特氟龍
	門：	鉸鏈門
	外形尺寸：	W350×D400×H500mm	W438×D520×H630mm
	真空泵抽速：	4m3/hour
	電源規格：	AC220V 10A
	重量：	約25kg			約34kg
附屬品		真空管件一套、真空轉接接頭一套、試料托盤一枚。