德國FISCHER合金分析儀FISCHERSCOPE/XDAL
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上海洛豐精密檢測儀器有限公司
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LEGEX系列為超高精度CNC三坐標測量機，具有世界上高精度水平，對大部分可能產生誤差的因素進行嚴格分析并較大程度地降低其影響。固定橋結構和精密空氣軸承在高剛性導軌上運行確保了良好的運動穩定性和高幾何精度。采用FEM結構分析模擬的測試保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。另外，其他多種技術如抗振測量等用于驅動單元結構中，實現了高精度。
規格：
| 型號 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | |
| 測量范圍 | X軸 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm |
| Y軸 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | |
| Z軸 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | |
| 測量方法 | 超高精度線性編碼器 | ||||
| 測量速度 | 200mm/s | ||||
| 加速度 | 980mm/s2 | ||||
| 分辨力 | 0.00001mm | ||||
| 導向系統 | 各軸均采用氣浮軸承 | ||||
| 工作臺 | 材料 | 鑄鐵* | |||
| 尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | |
| 緊固用螺釘孔 | M8x1.25mm (工件固定用) | ||||
| 測量高度 | 701mm | 701mm | 851mm | 851mm | |
| 負載 | 250kg | 500kg | 500kg | 800kg | |
| 重量 | 3500kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | |
| 空氣供給 | 氣壓 | 0.5MPa | |||
| 消耗量 | (正常情況下)120L/min(空氣源160L/min以上） | ||||
*：也可選擇陶瓷涂層。
LEGEX系列主機精度：
| 使用測頭 | 容許指示誤差 |
| ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013) | |
| MPP310Q | EO,MPE=(0.28+L/1000)um(溫度環境1） |
| EO,MPE=(0.3+L/1000)um(溫度環境2） |
LEGEX系列設置溫度環境：
| 溫度環境1 | 溫度環境2 | |
| 溫度范圍 | 19-21℃ | 18-22℃ |
| 溫度變化 | 每小時以內0.5℃ | |
| 溫度梯度 | 每米1.0℃以內 | |
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