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昊志機(jī)電亮相第六屆深圳國(guó)際半導(dǎo)體展（SEMI-e）
2024-07-04 11:31:46昊志機(jī)電 廣州機(jī)床工具行業(yè)圈閱讀量：165 我要評(píng)論
導(dǎo)讀：昊志機(jī)電亮相第六屆深圳國(guó)際半導(dǎo)體展（SEMI-e）。
2024年6月26日 ——第六屆深圳國(guó)際半導(dǎo)體展覽會(huì)(簡(jiǎn)稱(chēng)SEMI-e)在深圳會(huì)展中心盛大啟幕。本屆展會(huì)的展出面積達(dá)60,000平方米，吸引了超過(guò)800家展商參展，預(yù)計(jì)將有逾60,000名行業(yè)專(zhuān)家與觀(guān)眾蒞臨現(xiàn)場(chǎng)，共同探索在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、新能源汽車(chē)等領(lǐng)域中半導(dǎo)體技術(shù)的嶄新應(yīng)用與未來(lái)趨勢(shì)。 
昊志機(jī)電在6號(hào)館的6H18展位上，展示了一系列精心打造的產(chǎn)品：劃片機(jī)主軸、高精度磨外圓電主軸、氣浮超精密晶圓研磨電主軸、晶圓超精密檢測(cè)空氣靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)以及伺服驅(qū)動(dòng)器和直驅(qū)電機(jī)等。旨在為客戶(hù)提供半導(dǎo)體等領(lǐng)域核心功能部件解決方案。
PART.01
匠心產(chǎn)品介紹
01
剛度與承載力優(yōu)于競(jìng)品達(dá)14.3%
劃片機(jī)主軸系列
01
高剛度
主軸采用創(chuàng)新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，剛度與承載力較市場(chǎng)同類(lèi)產(chǎn)品顯著提升14.3%，能夠滿(mǎn)足硅晶圓、封裝基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。
02
高精度
采用高精度接口設(shè)計(jì)，錐面跳動(dòng)≤0.5μm，刀座裝刀面的徑向跳動(dòng)和軸向竄動(dòng)均≤1μm，主軸連續(xù)加工時(shí)伸長(zhǎng)量波動(dòng)≤0.3μm，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，確保高加工精度和高良品率。
03
高可靠性
優(yōu)化主軸防水、防塵性能，電機(jī)防護(hù)等級(jí)IP67，采用優(yōu)質(zhì)碳刷材質(zhì)，連續(xù)工作長(zhǎng)達(dá)6525小時(shí)，增強(qiáng)耐用性，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間，延長(zhǎng)設(shè)備壽命，提升投資回報(bào)率。
04
高性?xún)r(jià)比
與專(zhuān)業(yè)變頻器廠(chǎng)家合作，為電主軸匹配最佳驅(qū)動(dòng)參數(shù)，溫升降低16.7%，整合資源后，我們能夠?yàn)榭蛻?hù)節(jié)約30%的采購(gòu)成本，提供了具有高性?xún)r(jià)比的解決方案。
02
高精度、高剛性、超強(qiáng)密封 晶棒加工利器
高精度磨外圓電主軸
01
高精度
內(nèi)、外砂輪座外圓與端面全跳動(dòng)≤5um，內(nèi)砂輪座重復(fù)定位精度≤1um，主軸振動(dòng)≤0.5mm/s，加工出來(lái)尺寸公差控制在0.002mm以?xún)?nèi)，具有無(wú)與倫比的高精度的特性。
02
多功能
主軸配備兩個(gè)可控制伸縮的砂輪座，實(shí)現(xiàn)內(nèi)、外砂輪工況切換。
03
高剛性、大承載
外軸采用短跨距設(shè)計(jì)，配置大尺寸、大球徑軸承；內(nèi)軸則采用大軸徑軸系設(shè)計(jì)，并配置多層軸承支撐；主軸配置額定功率17.6kW、額定扭矩48Nm、最高轉(zhuǎn)速4000rpm的永磁電機(jī)，使主軸具有高剛性、低振動(dòng)、高承載能力的特點(diǎn)。
04
超強(qiáng)前端密封
前端密封設(shè)計(jì)采用迷宮密封、氣幕密封與骨架油封相結(jié)合的方式，確保在0.2MPa的氣封條件下，能完全阻止異物進(jìn)入主軸，主軸的防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP65。
03
低振動(dòng)、高剛性、高承載 半導(dǎo)體超精加工
高精度晶圓倒角機(jī)主軸
01
高剛性、低振動(dòng)
主軸采用創(chuàng)新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有低振動(dòng)(全轉(zhuǎn)速振動(dòng)≤0.6mm/s)、高剛性(剛度≥12N/μm)、高承載(承載力≥200 N)的優(yōu)勢(shì)，能夠輕松應(yīng)對(duì)晶圓的倒角加工。
02
高精度
通過(guò)結(jié)合氣體靜壓軸承的均化效應(yīng)和極高的零件加工精度，實(shí)現(xiàn)了比滾珠軸承電主軸更高的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)精度(低至200納米)。
03
高可靠性
采用螺旋冷卻結(jié)構(gòu)，主軸保持恒溫加工，各項(xiàng)性能穩(wěn)定可靠，這不僅顯著延長(zhǎng)了主軸的使用壽命，降低了維護(hù)成本，更帶來(lái)了無(wú)與倫比的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定生產(chǎn)能力。
04
回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差，低至20納米
氣浮超精密晶圓研磨電主軸
01
高性能電機(jī)
主軸配備高性能交流永磁同步電機(jī)，連續(xù)額定輸出扭矩可達(dá)13.5N•m，強(qiáng)勁扭力輕松應(yīng)對(duì)碳化硅等超硬材料的加工需求。
02
高效率冷卻系統(tǒng)
三段式冷卻結(jié)構(gòu)提升冷卻效率，溫升小，熱穩(wěn)定時(shí)間≤20min，熱伸長(zhǎng)波動(dòng)≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結(jié)構(gòu)和砂輪冷卻流道同時(shí)冷卻軸芯和砂輪，提高加工過(guò)程中的精度保持和表面處理質(zhì)量，減少因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的加工誤差。
03
高加工質(zhì)量
主軸全轉(zhuǎn)速振動(dòng)≤0.1mm/s，軸向剛度450N/μm，徑向剛度150N/μm，回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差低至20納米，使得8英寸工件研磨后表面TTV≤3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圓等產(chǎn)品的高質(zhì)量加工。
05
連續(xù)額定輸出扭矩可達(dá)18N•m高性能主軸
氣浮超精密晶圓研磨電主軸
01
高性能電機(jī)
主軸配備高性能交流永磁同步電機(jī)，連續(xù)額定輸出扭矩可達(dá)18N•m，強(qiáng)勁扭力輕松應(yīng)對(duì)碳化硅等超硬材料的加工需求。
02
高效率冷卻系統(tǒng)
三段式冷卻結(jié)構(gòu)提升冷卻效率，溫升小，熱穩(wěn)定時(shí)間≤20min，熱伸長(zhǎng)波動(dòng)≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結(jié)構(gòu)和砂輪冷卻流道同時(shí)冷卻軸芯和砂輪，提高加工過(guò)程中的精度保持和表面處理質(zhì)量，減少因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的加工誤差。
03
高加工質(zhì)量
主軸全轉(zhuǎn)速振動(dòng)≤0.1mm/s，軸向剛度800N/μm，徑向剛度200N/μm，回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差低至20納米，使得12英寸工件研磨后表面TTV≤3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圓等產(chǎn)品的高質(zhì)量加工。
06
最高轉(zhuǎn)速達(dá)到4800rpm 晶圓超精密檢測(cè)空氣靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)
01
非接觸式真空吸
氣浮套上設(shè)計(jì)有獨(dú)特的槽型空腔結(jié)構(gòu)和采用小間隙密封結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了非接觸高速真空吸功能，避免了轉(zhuǎn)臺(tái)使用接觸式旋轉(zhuǎn)接頭后對(duì)精度產(chǎn)生的影響。
02
快速啟停
轉(zhuǎn)臺(tái)配備的高性能電機(jī)可持續(xù)輸出8N.m的扭矩，并且對(duì)軸芯進(jìn)行高精度動(dòng)平衡后，轉(zhuǎn)臺(tái)可實(shí)現(xiàn)2S內(nèi)直升4800rpm并達(dá)到轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，提高檢測(cè)效率。
03
高定位精度
轉(zhuǎn)臺(tái)兼顧最高4800rpm的同時(shí)，定位精度≤士20urad(≤士4.12”)，重復(fù)精度≤士10urad(≤士2.06”)。
07
定位精度達(dá)±2.5”高性能轉(zhuǎn)臺(tái) 高精密晶圓研磨機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)
01
高精度
我司具備軸芯、軸承等零部件的超精密加工能力，加上液體油膜固有的“誤差均化效應(yīng)”使得液體動(dòng)靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)具有超高回轉(zhuǎn)精度(小于0.1μm)。搭配光柵編碼器，定位精度可達(dá)±2.5”，重復(fù)定位達(dá)±1”。
02
高性能
配置三相交流永磁同步電機(jī)，功率1.3kW，最高轉(zhuǎn)速142rpm，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快。采用氣動(dòng)鉗夾，增強(qiáng)了鎖緊力矩和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，確保了在生產(chǎn)過(guò)程中的高品質(zhì)和可靠性。
03
高穩(wěn)定性
采用液靜壓軸承，軸芯油膜懸浮實(shí)現(xiàn)無(wú)磨損運(yùn)行，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，油膜吸振減少轉(zhuǎn)臺(tái)振動(dòng)，賦予了設(shè)備高剛性和加工穩(wěn)定性等突出特點(diǎn)，顯著提升了產(chǎn)品的加工能力。
08
伺服驅(qū)動(dòng)器+直驅(qū)電機(jī)
01
驅(qū)動(dòng)器
高帶寬、高采樣頻率、高響應(yīng)速度;智能參數(shù)自整定，機(jī)械振動(dòng)抑制能力;支持多種編碼器反饋協(xié)議和多種控制方式，方便的自整定功能，電流環(huán)周期62.5us，速度/位置環(huán)周期500us。
02
微型對(duì)位臺(tái)
結(jié)構(gòu)緊湊尺寸小;直線(xiàn)導(dǎo)軌負(fù)載大;驅(qū)動(dòng)力響應(yīng)快;糾偏對(duì)位精度高。
03
IC高速分選
用于芯片設(shè)計(jì)檢驗(yàn)段和成品終測(cè)(FT)環(huán)節(jié)，是終測(cè)環(huán)節(jié)重要檢測(cè)設(shè)備之一；16-24個(gè)工位/旋轉(zhuǎn)角度:15°~22.5°，測(cè)試時(shí)間:35~60ms，產(chǎn)能:20~60K/h。
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