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光柵技術(shù)中心“一維光柵線位移傳感器”榮獲首屆“金燧獎(jiǎng)”銀獎(jiǎng)
2022-12-15 13:21:41長(zhǎng)春光機(jī)所光柵技術(shù)中心 劉兆武閱讀量：390 我要評(píng)論
【化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng) 技術(shù)前沿】近日，中國(guó)光學(xué)工程學(xué)會(huì)發(fā)布2022年首屆“金燧獎(jiǎng)”中國(guó)光電儀器品牌榜獲獎(jiǎng)名單，長(zhǎng)春光機(jī)所光柵技術(shù)中心開發(fā)的“一維光柵線位移傳感器”榮獲銀獎(jiǎng)。
“金燧獎(jiǎng)”中國(guó)光電儀器品牌榜旨在面向國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，以促動(dòng)關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，突破“卡脖子”技術(shù)發(fā)揮關(guān)鍵作用為出發(fā)點(diǎn)，重點(diǎn)評(píng)選出我國(guó)自主研發(fā)、制造、生產(chǎn)的高端光電儀器，為助力我國(guó)自主研發(fā)的科學(xué)儀器搶占科技戰(zhàn)略制高點(diǎn)、樹立民族品牌自信、展現(xiàn)自主核心競(jìng)爭(zhēng)力、開拓國(guó)內(nèi)外應(yīng)用市場(chǎng)創(chuàng)造新的機(jī)遇。
光柵位移測(cè)量以光柵柵距為基準(zhǔn)，不易受環(huán)境擾動(dòng)影響，具有更高的抗干擾能力和測(cè)量重復(fù)性精度，成為高端光刻機(jī)、高檔數(shù)控機(jī)床等高精度測(cè)量需求領(lǐng)域活力發(fā)展的方向。團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)了小型化、高刻線密度一維光柵線位移傳感器，首創(chuàng)基于錐面衍射和光柵偏振調(diào)制的光柵位移測(cè)量方法，解決了衍射干涉光柵測(cè)量中反、衍射光信號(hào)混疊引入相位誤差和波片參數(shù)引入多階非線性誤差的問題。一維光柵線位移傳感器攻克錐面衍射共點(diǎn)測(cè)量、各向異性衍射偏振調(diào)制、雙向多普勒干涉測(cè)量等多項(xiàng)核心關(guān)鍵技術(shù)，打破國(guó)外相關(guān)技術(shù)封鎖，實(shí)現(xiàn)555nm柵距下350mm位移測(cè)量。
圖1光柵線位移傳感器測(cè)量原理圖
“中國(guó)制造2025”發(fā)展戰(zhàn)略對(duì)高端裝備制造業(yè)的質(zhì)量提出了更高要求，超精密測(cè)量對(duì)提升高端裝備制造質(zhì)量具有基礎(chǔ)支撐作用，并在制造全過程中的質(zhì)量控制發(fā)揮決定性作用。“一維光柵線位移傳感器”打破該領(lǐng)域的對(duì)外依賴，有效提升了我國(guó)關(guān)鍵核心部件研發(fā)水平，推動(dòng)了高精度位移測(cè)量核心部件國(guó)產(chǎn)替代，全面支撐我國(guó)高端裝備制造能力跨越式發(fā)展！
2022年首屆“金燧獎(jiǎng)”中國(guó)光電儀器品牌榜獲獎(jiǎng)名單公示
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