導讀：超純氫氣廣泛應用于電子信息、半導體、LED、多晶硅光伏發電等戰略性新興產業。近日，中科院大連化物所甲烷轉化新材料與新過程研究組開發的高性能金屬鈀復合膜材料，在超純氫氣純化技術示范上獲得成功，示范規模為30m3/h氫氣。
　　
　　該團隊采用純度為99.99956%的氫氣作為原料，其中含雜質氮氣3.81ppm，雜質二氧化碳0.6ppm，在保持91.8%氫氣回收率條件下，產品氫氣純度達到99.9999996%，其中氮氣含量為4.3ppb，未檢出二氧化碳。在穩定性考察過程中，24小時以后產品氫氣中已經檢測不到雜質氮氣和二氧化碳。本次技術示范連續進行125小時，始終未檢測到雜質氮氣和二氧化碳。
　　
　　超純氫氣純化技術示范是國家“863”膜專項課題超純氫氣分離膜材料及規模化制備技術的主要研究任務。