設備簡介
自動探針臺+專用測試儀,可高速完成3~8英寸硅壓力傳感器器件芯片的自動檢測,可完成阻值、耐壓、反流、失調電壓等測試。
主要特點
適用于3~8英寸芯片
工作行程:X軸180m,Y軸220mm,Z軸5m,θ軸±15°
X.Y.Z.θ解析度分別為:1um、1um、1um、0.0015°
工作步距(X,Y):公制0.001~9.99
主要測試功能:圓形、探邊、環型測試;壞點重測;分類測試、自定義圖形測試等
打點方式:實時、滯后、測后、脫機:
Windows中文操作界面, Mapping動態顯示
顯微鏡為10~67倍連續調節,環形燈照明。
注:可根據用戶使用條件定制需要的規格,有關技術指標請索取產品詳細說明。