邁格諾科提供快速、高質量且有制造能力保證的半導體設備真空閥門維保服務。我們不僅僅是一家半導體核心精密零組件及真空閥門和特氣管路的供應商,并且是一家擁有全套的檢測設備、豐富的維修經驗、專業的技工團隊的半導體設備真空閥門維保廠家。邁格諾科有能力維修業內各廠家的真空閥門如日本SMC全系列真空角閥、矩形傳輸閥;瑞士VAT全系列真空閘閥、真空蝶閥、真空門閥;美國MKS全系列角閥、蝶閥。以及V-TEX、AMAT、NC、HVA等眾多品牌。我們能夠修復受損的閥門零件和結構,也能重新制造標準真空閥門及提供閥門維修零件包。
邁格擁有完整的半導體潔凈等級維修流程及標準的維修作業程序,來保證客戶的真空閥能夠正常運作并效恢復效能。
為了確保每一個維修過的產品功能如新,我們盡可能采用原廠的材料及標準。為此,我們配備眾多國際一線的專業的檢測設備,如美國奧林巴斯光譜儀、海克斯康三坐標、硬度計、英福康檢漏儀、閥門壽命測試設備以及滿足SEMI標準,通過第三方認證百級潔凈間等。
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產業類別 | 制程區域 | 設備制造商 | 型號 | 制程 | 閥門制造商 | 產品編號 | 產品名稱 | 原廠料號/規格 | 產品圖片 |
半導體 | T/F | AMAT | Endura 5500 | CVD-TiN | AMAT | TPV-001 | 8"TxZ Throttle Valve | 0010-09035 0010-37768 0010-09035 0010-38027 | |
半導體 | T/F ETCH | AMAT | P-5000 | W-CVD | AMAT | TPV-002 | 6"WCVD Throttle Valve | 0010-10082 | |
半導體 | T/F | AMAT | Centura II | TIV | AMAT | TPV-003 | 12"BWCVD Throttle valve | 0010-17151 0040-05469 0040-09022 | |
半導體 | T/F | AMAT | P-5000 Centura5200 | SSIN BPSG DARC C TEOS SA-CVD | AMAT | TPV-004 | 6"SA Throttle Valve | ||
半導體 | T/F | AMAT | Centura 5200 | TEOS SA-CVD | AMAT | TPV-005 | 8"SA-CVD Throttle Valve 8"TEOS/DxZ ThrottleValve | 0010-10778 0090-0034-001 | |
半導體 | T/F | AMAT | P-5000 | TEOS | AMAT | TPV-006 | 6"TEOS Throttle Valve | 0010-09301 | |
半導體 | T/F | AMAT | Endura 5500 | Copper Seed | AMAT | TPV-007 | PC3 Throttle Valve | 0240-28146 0010-09019 | |
半導體 | T/F | AMAT | Centura 5200 | SA-CVD TEOS | AMAT | TPV-013 | Centura Σ | 0010-02142 | |
半導體 | T/F | AMAT | Producer | SA-CVD BPSG | AMAT | TPV-015 | SA Producer Throttle valve | 0010-09857 0010-26231-001 0010-37140 | |
半導體 | T/F | AMAT | P-5000 | Nitride | AMAT | TPV-020 | 6"Nitride Throttle valve | 0010-76175 | |
半導體 | T/F | AMAT | Centura.12" | PCV | AMAT | TPV-036 | HDP Throttle vavle | PK243A2A-SG36 | |
半導體 | ETCH | AMAT | Centura 5200 | Poly | AMAT | TPV-109 | MxP / Super-E ChamberThrottle Valve | ||
半導體 | T/F | AMAT | Centura 5200 | HDP | AMAT | TPV-111 | DDTV. Throttle Valve | 0010-08384--166 | |
半導體 | T/F | AMAT | Endura 5500 Centura 5200 | Mainfiram | AMAT | SVA-001 | 8"Bellows assembly Slitvalve (TSMC 料號 ) | 0020-22412、0010-26966 0010-01287、0020-20345 0010-15287、0010-76428 | |
半導體 | ETCH | AMAT | Centura 5200 | WAFER.LIFT, ASSEMBLY, Preclean 2 | AMAT | SVA-002 | Slit Valve Bellow Assembly | 0010-20753 | |
半導體 | D/F | RTP | AMAT | SVA-016 | Slit Valve | 0040-75863 REV003 | |||
半導體 | T/F | AMAT | Endura 5500 Endura Il | SPD | AMAT | SVA-102 | 300mm Slit Valve Assembly | 3020-00077 | |
半導體 | D/F | AMAT | RTO-06 | DPN | AMAT | SVA-103 | DPN Chamber Imner DoorA ssembly | NCDO2B50-75DC | |
半導體 | T/F | Novellus | INOVA | VAT | SVA-107 | Slit Valve | 03012-LA24-0001 02112-BA24-APNI |